日本KOFLOC DF550C系列質(zhì)量流量控制器-金屬密封數(shù)字式
DF550C是基于DF200C基礎(chǔ)上的金屬密封產(chǎn)品,它除開擁有DF200
的高精度、高速度性能之外,在泄漏率方面做的更低,非常適用于
高真空、強腐蝕、劇毒氣體等等在對泄漏率有高要求場合
泄漏率:1*10-11pa·m3/s以下
金屬密封,適用于對泄漏率有高要求場合
DF550C系列質(zhì)量流量控制器-金屬密封數(shù)字式
量程(N2)
10SCCM-10SLPM
氣體
所有氣體
精度
±1.0%FS
重復(fù)性
±0.25%FS
有效范圍
2-100%
響應(yīng)時間
1秒以內(nèi)
耐壓
1.0Mpa
進口最大壓力
0.5Mpa
工作壓差
0.05-0.3Mpa
泄漏率
1*10-11pa·m3/s以下
溫度范圍
5~50℃
精度保證溫度
15~35℃
保存溫度
-10~60℃
濕度范圍
10-90%RH(不能結(jié)露)
材質(zhì)
本體SUS316L
密封圈SUS316L
電氣接口
DB9
通訊接口
RS485(RJ45接口)
模擬信號
0-5V輸入/輸出
供電
+24VDC(±10%)300mA;±15VDC(±10%)300mA
管路連接
標配1/4UJR
重量
約1100g
DB9針腳定義:
針腳/顏色
定義
1針腳/棕色
閥門全開/全閉
2針腳/白色
0-5V輸出
3針腳/紅色
+15VDC 或+24VDC
4針腳/黑色
電源COM 或 空
5針腳/黃色
-15VDC 或 電源地
6針腳/灰色
0-5V輸入
7針腳/綠色
輸出COM
8針腳/蘭色
輸入COM
9針腳/紫色
閥門電源輸出
RJ45針腳定義:
針腳
1針腳
485COM
2針腳
3針腳
空
4針腳
485-
5針腳
485+
6針腳
7針腳
8針腳
一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。
二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。
三:安裝前,請將設(shè)備管路進行整體吹掃。
四:耐壓1.0Mpa,進口最大壓力5公斤。
五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。