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LKF5系列-耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器

美國ALICAT
LKF5系列質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕

 

Alicat的LKF5系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可精確、快速控制

腐蝕性氣體(如:NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的質(zhì)量

流量、體積流量、壓力和溫度。LKF5系列質(zhì)量流量控制器

通過定制化的高速比例控制閥還可精確控制腐蝕性過程

氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。

 

更適用于液體氣化后的流量控制。

如:氨水、硅油氣化后,限度允許氣體濕度195%。

性能參數(shù)

LKF5.jpg

性能/參數(shù)

LKF5系列質(zhì)量流量控制器

流量范圍

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

標(biāo)定氣體

內(nèi)置130條氣體可選擇,含腐蝕氣體

精度(調(diào)零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(調(diào)零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

重復(fù)性

±0.2%FS

漂移(零點(diǎn)/滿量程)

0.02% F.S/oC/Atm

工作范圍

0.5-100%

響應(yīng)時(shí)間

100毫秒(調(diào)整)

啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間

1秒內(nèi)

標(biāo)準(zhǔn)工況

25oC & 14.696 psia,可自定義修改

工作溫度范圍

-10~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-95%RH(非冷凝)

工作壓力

不超過10Bar

安裝方向

任意

閥門狀態(tài)

常閉

材質(zhì)

SUS316L不銹鋼(傳感器)、密封圈FFKM(Kalrez)

顯示屏

背光LCD顯示屏,同時(shí)顯示流量、壓力、溫度

數(shù)字信號

標(biāo)準(zhǔn)RS232

選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模擬信號

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

第二路模擬信號

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

電氣接口

標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯

選配:圓形6芯、DB9、DB15

供電電壓

+24VDC

消耗電流

20SLPM以內(nèi):250mA

50SLPM以內(nèi):750mA


電氣連接

針腳/顏色

定義

1針(黑色)

4-20MA輸出信號,如選擇0-5V/10V   連接6針

2針(棕色)

不用連接,如選第二路   輸出信號可接

3針(紅色)

RS232 輸入串口RS232   輸入串口

4針(橘色)

模擬設(shè)定信號(訂貨時(shí)確認(rèn)信號類型)

5針(黃色)

RS232 輸出串口

6針(綠色)

0-5V或0-10V輸出信號

7針(藍(lán)色)

+24VDC供電

8針(紫色)

接地(同時(shí)作用于電源、通訊、模擬)

備注:以上是標(biāo)配圓新8芯接線注解,其他接口來電咨詢


壓損、管路接口

流量

壓損(PSID),排放大氣中

接口

0.5-50SCCM

1.0

 

 

 

1/8NPT母螺紋

100-500SCCM

1.0

1SLPM

1.5

2SLPM

3.0

5SLPM

2.0

10SLPM

5.5

20SLPM

20.0

50SLPM

2.0

1/4NPT母螺紋

100SLPM

3.2

250SLPM

2.4

1/2NPT母螺紋

500SLPM

6.5

 

3/4NPT母螺紋

1000SLPM

14.0

1500SLPM

17.0

2000SLPM

28.6

3000SLPM

16.8

1-1/4NPT母螺紋

5000SLPM

14.1

1-1/2NPT母螺紋


使用注意

一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器(20-30目)使用。

二:用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時(shí),只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:在使用質(zhì)量流量控制器的時(shí)候,進(jìn)口前方加“ON/OFF電磁閥或手動(dòng)切斷閥”。

四:安裝前,請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

五:通氣體時(shí),請先開氣源,后設(shè)定值。

六:切勿在沒有通氣的情況下,對流量控制器進(jìn)行設(shè)定。

七:使用完以后,請將流量控制器值歸零或斷電。

八:需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候,確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下、設(shè)定值是0的狀態(tài) 再操作。