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流量范圍

0.5SCCM-6000SLPM

可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

標(biāo)定氣體

內(nèi)置90條氣體可選擇

精度(調(diào)零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(調(diào)零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

重復(fù)性

±0.2%FS

漂移(零點/滿量程)

0.02% F.S/oC/Atm

工作范圍

0.5-100%

響應(yīng)時間

100毫秒(調(diào)整)

啟動預(yù)熱時間

1秒內(nèi)

標(biāo)準(zhǔn)工況

25oC & 14.696 psia，可自定義修改

工作溫度范圍

-10~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-100%RH(非冷凝)

工作壓力

10Bar

安裝方向

任意

閥門狀態(tài)

常閉

材質(zhì)

SUS302\303\304不銹鋼、密封圈VITON

顯示屏

背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度

數(shù)字信號

標(biāo)準(zhǔn)RS232

選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模擬信號

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

第二路模擬信號

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

電氣接口

標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯

選配:圓形6芯、DB9、DB15

供電電壓

+24VDC

消耗電流

20SLPM以內(nèi)：250mA

50SLPM以內(nèi)：750mA

注：5000SLPM消耗2000mA電流

流量范圍

10SCCM-20SLPM

精度

±0.6%Rd(16.7%-100%FS),±0.1%FS(0%-16.7%FS)

高精度

±0.5%Rd(16.7%-100%FS),±0.1%FS(0%-16.7%FS)

重復(fù)性

±(0.1%Rd+0.02%FS)

量程比

10000:1(0.01-100%)

其他

來電咨詢

1針(黑色)

4-20MA輸出信號，如選擇0-5V/10V，連接6針

2針(棕色)

不用連接,如選第二路輸出信號可接

3針(紅色)

通訊輸入串口

4針(橘色)

模擬設(shè)定信號(訂貨時確認(rèn)信號類型)

5針(黃色)

通訊輸出串口

6針(綠色)

0-5V或0-10V輸出信號

7針(藍(lán)色)

+24VDC供電

8針(紫色)

接地(同時作用于電源、通訊、模擬)

0.5-50SCCM

1.0

1/8NPT母螺紋

100-500SCCM

1.0

1SLPM

1.5

2SLPM

3.0

5SLPM

2.0

10SLPM

5.5

20SLPM

20.0

50SLPM

2.0

1/4NPT母螺紋

100SLPM

3.2

250SLPM

2.4

1/2NPT母螺紋

500SLPM

6.5

3/4NPT母螺紋

1000SLPM

14.0

1500SLPM

17.0

2000SLPM

28.6

3000SLPM

16.8

1-1/4NPT母螺紋

5000SLPM

14.1

1-1/2NPT母螺紋