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BRENDA配氣儀

日本KOFLOC
BRENDA 多功能配氣儀

 

BRENDA系列配備了KOFLOC自主開發的數字是DF200系列質量流量控制器

相對于傳統配氣儀,可以更精確的控制混合氣體中的混合比

另外還配備的8英寸的觸摸屏,讓操作更加清晰、簡單

 

精度±1.0%RD、響應速度1秒以內

8英寸觸摸屏

多種混合模式

可以預存混合程序,一鍵運行

支持數據記錄

各種附加功能:加密\報警\切斷\累計流量等等


性能參數

BRENDA多功能配氣儀

型號

BR-2C

BR-3C

BR-4C

控制方式

內部集成 質量流量控制器

精度

±1.0%RD

MFC響應速度

全量程1秒以內

使用氣體

常規非腐蝕氣體、以及腐蝕氣體(單獨說明)

流量范圍

每個分路3SCCM-50SLM,混合后總流量100SLM以下

耐壓

0.8Mpa

管路接口

RC1/4

使用溫度/濕度

5-50℃、10-80%RH

尺寸(MM)

380*390*330

480*390*330

設備重量

30KG

37KG

40kg

消耗電力KW

0.1kw

電壓

AC100-240V,50-60HZ


觸摸屏界面

觸摸屏界面1:

界面-1.jpg


觸摸屏界面2:
界面-2.jpg

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