日本KOFLOC BRENDA 多功能配氣儀
BRENDA系列配備了KOFLOC自主開發的數字是DF200系列質量流量控制器
相對于傳統配氣儀,可以更精確的控制混合氣體中的混合比
另外還配備的8英寸的觸摸屏,讓操作更加清晰、簡單
精度±1.0%RD、響應速度1秒以內
8英寸觸摸屏
多種混合模式
可以預存混合程序,一鍵運行
支持數據記錄
各種附加功能:加密\報警\切斷\累計流量等等
BRENDA多功能配氣儀
型號
BR-2C
BR-3C
BR-4C
控制方式
內部集成 質量流量控制器
精度
±1.0%RD
MFC響應速度
全量程1秒以內
使用氣體
常規非腐蝕氣體、以及腐蝕氣體(單獨說明)
流量范圍
每個分路3SCCM-50SLM,混合后總流量100SLM以下
耐壓
0.8Mpa
管路接口
RC1/4
使用溫度/濕度
5-50℃、10-80%RH
尺寸(MM)
380*390*330
480*390*330
設備重量
30KG
37KG
40kg
消耗電力KW
0.1kw
電壓
AC100-240V,50-60HZ
觸摸屏界面1:觸摸屏界面2: